製品紹介

ウェーハエッジ自動欠陥検査装置RXW-1200

Siウェーハ製造・デバイス製造工程で、ウェーハエッジ部の欠陥検出と分類、要求部位の寸法計測を行うインライン検査装置

半導体・製造工程

端部面取り / 平面研削 / 平面研磨 / 洗浄 / 乾燥 / PW最終検査 / エピ、SOI / 成膜 / リソグラフィ / CMP / エッジトリミング / 貼り合わせ / シニング

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デバイス用裏面検査装置BMW-1200

デバイスプロセスでウェーハ裏面に発生する欠陥・異物を高感度に検出、抽出欠陥の微小三次元形状計測が行える検査装置

半導体・製造工程

成膜 / リソグラフィ / エッチング / CMP

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エッジ・表裏面複合検査装置RXM-1200

Siウェーハ製造(ポリッシュ・エピ）工程で、エッジ・表裏面に発生する様々な欠陥をトータルに検査する複合検査装置

半導体・製造工程

端部面取り / 平面研削 / 平面研磨 / 洗浄 / 乾燥 / PW最終検査 / エピ、SOIなど

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AXM-1200

AXMシリーズは、ウェーハ製造の最終外観検査プロセスで威力を発揮する最新鋭装置です。
不感帯ゼロの新方式ノッチ検査をはじめ、更に性能アップしたエッジ検査・表裏面検査、新開発の独自アルゴリズムによる自動欠陥分類など、多彩な新機能を搭載しています。

半導体・製造工程

シリコンウェーハ製造プロセス対応ウェーハエッジ・表裏面・ノッチ検査装置